Richtwerte gibt es für folgende Substanzen: Alpha Pinen, Butan-1-ol, Dodecamethylcyvlo-hexasiloxan (D6), Decamethylcyclopentasiloxan (D5), Ethylbenzol, Naphthalin, Octamethylcyclopentasiloxan (D4), Phenol und Xylole. Der WIR für diese Substanzen ist ein Halbstunden-Mittelwert. Merkblätter existieren für Styrol, Tetrachlorethen und Toluol. Der WIR für Styrol und Tetrachlorethen wird als 7-Tages-Mittelwert und der WIR für Toluol als Stundenmittelwert festgesetzt.
Für die für den Menschen krebserregende Substanz Benzol existieren internationale Werte zur Begrenzung des Krebsrisikos. Der vom deutschen Ausschuss für Innenraumrichtwerte des Umweltbundesamtes (AIR) angeführte, vorläufige Leitwert für Benzol in der Innenraumluft von 4,5 µg/m³ ist jene Konzentration, die auch bei lebenslanger Exposition mit einem äußerst geringen Krebsrisiko verbunden ist. Die Messung zur Überprüfung soll mittels Langzeitmessung unter üblichen Nutzungsbedingungen erfolgen. Nach Ansicht der WHO sollte die Konzentration an Benzol so stark wie möglich gesenkt werden.
Weiters wird in der Richtlinie: „Übernahme deutscher Richtwerte“, auf Richtwerte des deutschen AIR, verwiesen, wenn noch keine österreichischen Richtwerte von Einzelsubstanzen bzw. Gruppen chemisch ähnlicher Substanzen existieren. Vom AIR wurden im Basisschema zwei unterschiedlich hohe Richtwerte festgelegt. Der Richtwert II stellt die Konzentration eines Stoffes in der Innenraumluft dar, bei deren Überschreiten unverzüglich Handlungsbedarf besteht, da diese Konzentration geeignet ist, insbesondere bei Daueraufenthalt in den Räumen die Gesundheit empfindlicher Personen einschließlich Kindern zu gefährden. Der Handlungsbedarf ist auch als unverzüglicher Prüfbedarf zu verstehen, z. B. im Hinblick auf Sanierungsentscheidungen zur Verringerung der Exposition. Eine Empfehlung zur Schließung von Räumen kann daher notwendig sein. Bei Überschreitung von Richtwert I sind bei lebenslanger Exposition über den Luftpfad gesundheitliche Beeinträchtigungen nicht auszuschließen. Eine Überschreitung des Richtwertes I ist mit einer über das übliche Maß hinausgehenden, hygienisch unerwünschten Belastung verbunden. Weiters wurden einige Richtwerte I zum Schutz vor Geruchsbelästigungen definiert.
Aus kontrollierten Wirkungsstudien mit VOC-Gemischen definierter Zusammensetzung kann geschlossen werden, dass die Wahrscheinlichkeit für das Auftreten von Reizwirkungen und Geruchswahrnehmungen mit steigender Gesamtkonzentration des Gemisches, ausgedrückt als Summe-VOC, VOC-Gesamtkonzentration oder TVOC, zunimmt. Wegen der Variabilität der Zusammensetzung des VOC-Spektrums und der daraus resultierenden Vielfalt möglicher Wirkungsendpunkte lassen sich jedoch keine abgesicherten Dosis-Wirkungs-Beziehungen angeben. Mit steigender Konzentration nimmt jedoch die Wahrscheinlichkeit zu, dass sich spezifische Quellen an VOC in den jeweiligen Innenräumen befinden. Der VOC-Summen-parameter stellt keinen toxikologisch abgeleiteten Wert im Sinne von wirkungsbezogenen Innenraumrichtwerten dar und eignet sich demnach nicht als alleiniges Kriterium für eine allfällige Bewertung, sondern ist vielmehr als einer der Indikatoren für die Gesamtsituation anzusehen. Kanzerogene Stoffe und Geruchsstoffe sowie Verbindungen, für welche Einzelstoffbewertungsgrundlagen vorliegen, sind jedenfalls einer gesonderten Betrachtung zu unterziehen.